環境保全型薄膜光学センサーの開発

　光電変換材料として資源量がが豊富であり、かつ強い毒性が少ない元素からなる酸化物半導体を利用してUV（紫外線）領域に感度ピークを有するpin接合型フォトダイオードセンサーの開発に成功しました。右の写真はセンサーの断面を撮影したものです。本研究ではスプレー熱分解法による製膜の利点を生かし、各層の作製条件や原料溶液を変えることにより膜厚、表面形態を変化させ、センサーの性能の改善を試みています。
　なお、本研究内容は、DMコース3年生が材料エネルギー科学実験 IIで取り扱います。

•Porous TiO2 films prepared by spray pyrolysis deposition (SPD) technique and their application to UV sensors, M. Okuya et al., Solid State Ionics, Vol.172, pp.527-531 (2004).
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